等离子清洗机（去胶机）
型号：IoN 100WB
主要功能：基底表面处理及图案化用
技术指标：腔体尺寸：375 宽 x 375 高 x 762 深mm；两路不锈钢材质的质量流量控制器 (MFC)； ****流速500 scc/m；7层电极板托盘；600 瓦13.56MHz射频发生器Ebara EV-S20干泵，****抽速为1670 L/min。
