探针台及Keithley4200
型号：HTM-6
制造商：Keithley/中国台湾 HORIZON TECHNOLOGY
主要功能：电学性能测试辅助用
技术指标：盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，****能够吸住尺寸为6"X6"；X-Y方向移动范围为6"X6"，移动精度为10μm；探针台台面平整度：5μm；目镜倍率: 20X，物镜倍率有: 2X、10X、20X、50X。
