台阶仪
型号:DEKTAK XT
制造商:bruker
主要功能:接触式表面形貌测量仪器。台阶式探针轮廓仪，结构紧凑，可提供很高的重复性和精度。它不仅能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak系统对于MEMS，纳米技术和半导体应用都非常方便。
技术指标：手动样品台，4英寸，XY行程100mm*100mm；扫描长度：50µm 至 55mm，可达120,000个数据点/扫描；探针加力范围：0.03毫克至15毫克，探针快速更换附件（标配）；垂直测量范围：可达1毫米；自动台阶检测功能特点:自动水平调整，自动检测台阶，自动测量台阶高度和多重台阶数据综合对比。
